薄膜沉积 - 鲁汶仪器

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Shale® C 系列

Shale^® C 系列

ICP-CVD

8英寸电感耦合等离子体化学气相沉积设备

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Shale® A 系列

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PECVD

8英寸等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备

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