设备选型

工艺数据

深宽比及刻蚀深度可调控，侧壁垂直，粗糙度较好

详细介绍

Pishow^® D 系列深刻蚀设备，是针对8英寸~6英寸产线或科研深硅刻蚀工艺的专用设备，拥有自主开发的优化设计，保证了优异的刻蚀精度控制和损伤控制。

提供Si Bosch工艺的解决方案。

该设备高性价比的解决方案和优秀的空间利用率，可帮助不同客户实现产能升级。